低溫等離子除臭設備等離子體化學反應過程***致如下

 

(1) 電場+電子→高能電子

 

(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團

 

(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱

 

(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

 

從以上反應進程能夠看出，電子先從電場取得能量，經過激起或電離將能量轉移到污染物分子中去，那些取得能量的污染物分子被激起，一起有部分分子被電離，然后成為活性基團。然后這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間彼此磕碰后生成安穩產品和熱。

 

別的，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質抓獲，成為負離子。這類負離子具有很***的化學活性，在化學反應中起著重要的效果。