摘要低溫等離子氣體處理技術得到廣泛應用，氣體的流量和濃度是氣體污染物處理技術應用的兩個重要因素。生物過濾和燃燒技術可以應用于更高的濃度，但受氣體的流動。電子束輻照技術只有非常窄的氣體速度。低溫等離子體技術在氣流速度和氣體濃度方面有廣泛的應用。等離子體技術的技術很簡單，吸附法應考慮吸附的周期性更換，而當吸附分離時可能產生二次污染。燃燒需要較高的操作溫度;在聯合催化法中，催化劑是選擇性的，某些條件(如溫度過高)會導致催化劑失效。光催化方法只能使用紫外光等。生物方法應嚴格控制pH值、溫度和濕度，以適應微生物的生長。